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Voir®SCU氟过滤器 微电子设备
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方案描述
半导体、LED芯片、微电子及磁盘驱动器等苛刻的制造过程中,流体纯度是必不可少的。随着晶体管不断收缩, 在纳米范围内捕获微小粒子变得越来越重要。
全氟结构滤芯:可选自研的亲/疏水PTFE滤膜,骨架采用进口超低析出的超纯PFA。满足半导体制造中的预终端过滤需求,提供各种过滤和分离解决方案,具有先进的纳米拦截功能,可获得最佳效果,并节省成本。生产后使用18.2MΩ超纯水冲洗;可以提供预湿包装。
产品特点
·全氟结构:PTFE膜材结合PFA成型材料,耐腐蚀,耐高温。
·超高精度过滤:30nm、50nm、0.1um、0.2um、 1um满足半导体行业的过滤要求。
·化学兼容性:适合半导体行业高温、强腐蚀性化学料液的过滤等。
·高洁净度:严格的清洗工艺,保证出厂滤芯能够100%完整性、低离子析出。
应用领域
1. LED芯片加工过滤
2. 半导体晶圆抛光液过滤
3. 硬盘驱动器加工
产品选型
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