Voir®SCU氟过滤器 微电子设备

方案描述

半导体、LED芯片、微电子及磁盘驱动器等苛刻的制造过程中,流体纯度是必不可少的。随着晶体管不断收缩, 在纳米范围内捕获微小粒子变得越来越重要。

Voir®SCU氟过滤器帮助芯片制造商滤除有害污物, 提高加工效率及良品，减少总加工成本。Voir®SCU氟过滤器采用Voir®e- PTFE膜为过滤介质,具有优越截留率和无与伦比的流量;梯度孔径结构设计,分级过滤,使得氟过滤器具有更高的纳污量和更长的寿命。适用于对性能、质量一致性、和产品清洁度要求苛刻,并可重复性的制造过程应用。

产品特点

1.具有捕捉纳米范围内颗粒的能力，高效滤除有害物,提高加工良品；
2.保留优越的流速 , 在不牺牲生产能力的情况下实现高工艺产量；
3.梯度孔径结构设计, 分级过滤，具有更高的纳污量和更长的寿命；
4.耐极端温度和化学侵蚀，适用苛刻应用环境；
5.表面过滤材料具有良好的自洁性 , 反复清洗不脱落。

应用领域

产品选型