Voir®SCU过滤膜及过滤组件 微电子设备

方案描述

对于电子行业制造商来说，消除有害污物是关键流程，沃瑞致力于帮助半导体行业制造商提供高洁净方案产品，Voir®微电子过滤膜可以改善工艺流程，减少维护成本。纯度在关键应用中至关重要。
半导体、LED芯片、微电子及磁盘驱动器等苛刻的制造过程中，流体纯度是必不可少的， 如湿蚀刻和清洁、光刻和化学机械平坦化（CMP）。随着晶体管不断收缩，在纳米范围内捕获微小粒子变得越来越重要。
Voir®SCU采用e-PTFE膜为过滤介质， 具有优越截留率和无与伦比的流量； 梯度孔径结构设计，分级过滤，使得过滤芯具有更高的纳污量和更长的寿命。适用于对性能、质量一致性、和产品清洁度要求苛刻，并可重复性的制造过程应用。

产品特点

1. 具有捕捉纳米范围内颗粒的能力
2. 保留优越的流速
3. 梯度孔径结构设计
4. 耐温差、耐腐蚀

产品选型