沃瑞半导体材料事业部出席第五届深圳国际半导体技术暨应用展
发布日期:2023-05-16 16:00:58
2023.5.16日上午9点,第五届深圳国际半导体技术暨应用展在深圳国际会展中心拉开帷幕。沃瑞半导体材料事业部创新方案产品吸引了众多观众的眼球。让我们把镜头拉近,欢迎到访14馆14C014号感受现场氛围。
一、Voir®电缆及电缆组件
沃瑞基于高分子专用ePTFE核心材料研发出电缆及电缆组件应用于光刻机、晶圆制造、半导体制造,显示面板等领域,真空线缆方案已开始应用于国内顶级知名半导体芯片制造企业。
二、Voir®IDC高柔带状彩排线缆
Voir®IDC高柔带状彩排线缆更轻柔,适用狭窄空间长时间运动状态下耐磨损保持高性能。耐恶劣工况 (防油污,高低温)应力下性能保持不变。
三、Voir®半导体臭氧化模组、过滤器
Voir®臭氧化模组内置折叠微孔过滤氟膜e-PTFE核心材料,过滤去除臭氧气体中的颗粒。提高浓度和洁净度从而提升生产效率。
Voir®过滤器采用e-PTFE膜为过滤介质,分级过滤,具有更高纳污量和更长的寿命。
四、Voir®半导体掩模版用防尘罩
Voir®防尘罩是针对光刻掩模版DUV波段在248nm和193nm而开发。Voir®防尘罩具有很高的透明度,使用e-PTFE含氟材料制作而成,在光照下不会释放对掩模版有害的气体成分。在DUV波段吸收相比 ,硝化树脂吸收性能差。
此外,沃瑞半导体事业部还提供基于半导体其它系列的防护产品,例如含氟的管道密封产品。欢迎大家莅临展会现场交流,一起共同推动半导体产业发展。
关于沃瑞半导体材料部件事业部(SCU)
基于氟聚合物材料及线缆组件传输方案产品,助力芯片制造/封装/封测 设备厂商提供可靠的信号传输,为光刻过滤提供PTFE滤膜,滤芯组件以及氟密封防护方案。已为多家半导体厂商提供方案产品包括亚洲领先半导体厂商。沃瑞科技在华东华南有现场工程人员提供支持,如你有任何疑问,请联系我们。华东:李先生13927334629 华南:曹先生13923623980
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