Voir®Cable-Pod线缆方案助力半导体晶圆制造、封测封装设备行业的发展

发布日期:2022-01-13 17:31:20

       半导体芯片生产环境、效率和良率要求高,设备信赖性、精度和速度等性能是产业产能和良率提升的关键影响要素,针对制造过程中出现的粉尘污染、ESD静电防护、设备运行周期及总成本等问题。Voir®基于高分子ePTFE核心材料的高柔抗静电线缆及组件方案提供持久的环境保护。

一、Voir®高柔扁平线缆

       当电缆移动、弯折或摩擦厚重的电缆链时,半导体上的微观电路会被电缆材料的微尘、释气和静电积聚所污染,对元件造成损坏。在真空环境下,Voir®高柔扁平电缆可以为远距离的高速数据传输提供完整可靠的信号,减少集尘和释气,提高生产效率、减少维护成本。

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Voir®高柔扁平线缆结构图

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典型应用半导体:

半导体封测、封装设备| 半导体晶圆芯片制造设备 |光刻机设备 | 真空环境


二、Voir®Cable-Pod抗静电无尘拖链

       自动化制造对设备、空间等要求极其苛刻,要求拖链的寿命更是达到上千万次,Voir®Cable-Pod-ESD黑色款可减少颗粒吸附, 防止摩擦电荷及电压聚集,提高信号的完整性和产量,具有遮光效果,对自动化检测设备CCD相机起到防反光作用。

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Voir®Cable-Pod抗静电无尘拖链结构图

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典型应用:自动化,显示面板

半导体自动化设备| 显示面板制造| 激光设备| 视觉检测设备| 光学设备


三、Voir®Cable-Pod低集尘拖链

       洁净室、食品医疗设备对环境要求严苛,需消除静电聚集和粉尘吸附。Voir®Cable-Pod无尘拖链采用自主研发e-PTFE材料和特殊低颗粒材料复合而成,低集尘抗静电,提高设备可靠性。

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Voir®Cable-Pod无尘拖链结构图

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典型应用:

食品医疗| 制药设备| 洁净室| 无尘设备


四、Voir®包覆式Cable-Pod

       Voir®包覆式Cable-Pod直接采用Voir®基于ePTFE抗ESD的复合膜材料包覆线缆,无需拆卸线缆,气管或拖链,在不改既有方案的情况下增加无尘抗静电方案,安装方便,减少维护成本。直接在传统的坦克链进行包覆达到快速升级,简单方便,即时即用。

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高柔抗静电耐磨复合材料结构图

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典型应用:传统坦克链快速直接升级


五、Voir®微电子过滤膜

       半导体芯片尺寸极小,最轻微的污染也可能损害其性能,对于制造商来说,消除有害污物是关键,沃瑞致力于帮助半导体行业制造商提供高洁净方案产品,Voir®微电子过滤膜可以改善工艺流程,减少维护成本。采用聚四氟乙烯(PTFE)的材料呈化学惰性,可耐受极端温度,经久耐用。除了以上的电缆和电缆组件之外,沃瑞还可提供:微滤过滤介质,提供薄膜和折叠两种形式,轻松集成到各种过滤壳体系统中。

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关于沃瑞科技无尘拖链线缆及组件:

       沃瑞科技拥有ePTFE材料技术,专注ePTFE材料10多年,拥有多项专利技术,是国家认定的高新技术企业和ePTFE材料工程技术中心,截至目前沃瑞科技基于ePTFE材料的无尘拖链线缆及组件方案已应用于半导体制造,显示面板等领域,其中基于ePTFE材料的高柔抗静电低集尘线缆方案已开始应用于国内顶级知名半导体芯片制造企业。


延伸阅读:EPTFE:膨化聚四氟乙烯

       ePTFE薄膜生成的原理是,含有氟分子和碳分子的线性聚合物被拉伸后,成为一种拥有多种特性的多微孔材料,是工业领域综合性能最优异的氟聚合物材料:



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